红河家具封边胶厂家 朗姆研究申请在间隙填充膜蚀刻期间具有抑制和原位钝化及硬掩模保护利, 将膜前体转化成间隙内的膜

国知识产权局信息显示红河家具封边胶厂家，朗姆研究公司申请项名为“在间隙填充膜蚀刻期间具有抑制和原位钝化及硬掩模保护的原子层沉积”的利，公开号CN122181220A，申请日期为2024年11月。

利摘要显示，本文公开涉及执行具有原位钝化的等离子体增强原子层沉积(PEALD)以及在执行间隙填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。个示例提供了种法，其包括执行多个PEALD循环以将膜沉积到间隙中。每个PEALD循环包括将膜前体引入处理室，以将膜前体吸附到间隙内的表面上，然后清扫该室。PEALD循环还包括在转化步骤中，使用包含反应物和抑制剂的气体混物形成等离子体，以将衬底暴露于抑制剂并将膜前体转化成间隙内的膜。PEALD循环还包括在转化步骤之后的钝化步骤中，万能胶厂家将衬底暴露于包含钝化剂的等离子体以从间隙中的表面去除至少些抑制剂。

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